光導波路素子とその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993286584
Publication number (International publication number)：1994222229
Application date： Nov. 16, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】光伝搬損失が小さく、光ファイバーとの結合損失が小さく、他の光素子や電子素子との集積化が可能な光導波路素子及びその製造方法を提供する。【構成】誘電体基板、半導体基板やガラス基板などの保持基板1と、その保持基板1に直接接合により接合されたガラス基板2とを備え、そのガラス基板2の内部に光導波路3を有する光導波路素子及びその製造方法。

Claim (excerpt)：

保持基板と、該保持基板に直接接合により接合されたガラス基板とを備え、該ガラス基板は内部に光導波路を有する光導波路素子。

IPC (4)：

G02B 6/12 , C03B 8/04 , C03B 20/00 , H01L 27/15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭58-223106
特開昭60-051700
特開平4-116816

Show all

Return to Previous Page