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J-GLOBAL ID：200903074010450992

放射線に感光性の混合物のための増感剤としてのポリラクチド化合物

Inventor： ジエイムズ・ジー・フアビアー・ジユニア ,  ロレンス・フエレイラ ,  ジヨン・エイ・マクフアーランド・ジユニア
Applicant, Patent owner： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993057633
Publication number (International publication number)：1994083051
Application date： Mar. 18, 1993
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 増感剤としてポリラクチド化合物を用いるフォトレジスト組成物を提供すること。【構成】 少なくとも一種のアルカリ可溶性バインダー樹脂、少なくとも一種の光活性化合物及び効果的な感度を増進する量の少なくとも一種のポリラクチド化合物の、溶媒中の混合物である放射線に感光性の組成物であって、該放射線に感光性の組成物の全固体含量を基にして、該バインダー樹脂の量が約60〜95重量%であり、そして該光活性成分の量が約5〜約40重量%であることを特徴とする組成物。

Claim (excerpt)：

少なくとも一種のアルカリ可溶性バインダー樹脂、少なくとも一種の光活性化合物及び効果的な感度を増進する量の少なくとも一種のポリラクチド化合物の、溶媒中の混合物である放射線に感光性の組成物であって、該放射線に感光性の組成物の全固体含量を基にして、該バインダー樹脂の量が約60〜95重量%であり、そして該光活性成分の量が約5〜約40重量%であることを特徴とする組成物。

IPC (5)：

G03F 7/031 ,  C09D 4/00 PEN ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/26 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-180961
  
• ミクロ構造素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-319889   Applicant：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト