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J-GLOBAL ID：200903074084248303

スパッタ装置用電源

Inventor： 三村 和弘 ,  森田 哲夫
Applicant, Patent owner： 新電元工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993321385
Publication number (International publication number)：1995150348
Application date： Nov. 26, 1993
Publication date： Jun. 13, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はタ-ゲットの材質或は形状に無関係に電弧の発生、及び異常放電を防止せしめる電源の提供を目的とする。【構成】 本発明はスパッタを行うための真空室内のタ-ゲットに直流電圧、電力(パワ-)を供給する電源の出力部に前記電源と逆極性のパルスを重畳せしめ、該逆パルスの電圧及び周波数を任意に調整することにより電弧或は異常放電を消弧するように構成したものである。

Claim (excerpt)：

スパッタを行うための真空室内のタ-ゲットに直流電圧、電力(パワ-)を供給する電源の出力部に前記電源と逆極性のパルスを重畳せしめ、該逆パルスの電圧及び周波数を任意に調整することにより電弧或いは異常放電を消弧するように構成したことを特徴とするスパッタ装置用電源。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 真空スパッタリング装置用ア-ク防止装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-251961   Applicant：レイボルト・アクチェンゲゼルシャフト