マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置、試料観察装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998326326
Publication number (International publication number)：2000146780
Application date： Nov. 17, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】プローブ交換時における装置の停止時間を短縮し、装置稼働率を向上させるマニピュレータを提供する。【解決手段】真空チャンバにエアロック室を設け、このエアロック室を、本体の真空チャンバと真空ベローズで接続する。エアロック室にはプローブホルダを取り付け、本体に設けた移動機構によりエアロック室ごとプローブを移動する。エアロック室は排気ポートから真空排気を可能とし、エアロック室と真空チャンバの間を真空バルブで仕切る。プローブはエアロック室と真空チャンバの間を移動できるよう、第2の移動機構を設ける。

Claim (excerpt)：

針状部材と、上記針状部材を真空容器内で移動させるための移動手段からなるマニピュレータであって、上記針状部材は、上記真空容器を大気開放することなしに、上記真空容器からの出し入れを可能とする真空導入手段を具備することを特徴とするマニピュレータ。

IPC (7)：

G01N 1/28 , B25J 7/00 , G01N 1/32 , G01N 23/225 , G01N 27/00 , G01R 31/302 , H01L 21/66

FI (8)：

G01N 1/28 F , B25J 7/00 , G01N 1/32 B , G01N 23/225 , G01N 27/00 Z , H01L 21/66 C , G01N 1/28 G , G01R 31/28 L

F-Term (42)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001JA02 , 2G001JA14 , 2G001KA03 , 2G001PA07 , 2G032AE01 , 2G032AE02 , 2G032AF01 , 2G032AF08 , 2G060AA09 , 2G060AE01 , 2G060AF02 , 2G060AG01 , 2G060EA03 , 2G060EB03 , 2G060EB05 , 2G060EB09 , 2G060HA01 , 2G060KA16 , 3F060AA00 , 3F060AA07 , 3F060BA10 , 3F060EB05 , 3F060HA00 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA03 , 4M106CA01 , 4M106CA70 , 4M106DH01 , 4M106DH24 , 4M106DH33 , 4M106DH60 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ23 , 9A001JJ45 , 9A001KZ54

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平2-160351
特開平3-074036
特開平4-048254

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