金属試料表面の外観検査方法および外観検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小西淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997195238
Publication number (International publication number)：1999023489
Application date： Jul. 07, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】リードフレーム等の加工品(金属試料)の表面部のキズ欠陥等を検出する外観検方法において、擬似欠陥と致命的欠陥とを、人が容易に判断できる外観検査方法を提供する。同時に、そのような検査方法ができる外観検査装置を提供する。【解決手段】金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、且つ、撮影により得られた、各仰角の画像データにそれぞれRGB3色の1色を割当てて、RGBカラー画像を合成し、合成された画像のR、G、Bの色合いから欠陥、擬似欠陥の判別を行う。

Claim (excerpt)：

金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、且つ、撮影により得られた、各仰角の画像データにそれぞれRGB3色の1色を割当てて、RGBカラー画像を合成し、合成された画像のR、G、Bの色合いから欠陥、擬似欠陥の判別を行うことを特徴とする金属試料表面の外観検査方法。

IPC (4)：

G01N 21/89 , C23F 1/00 , G01N 21/84 , H01L 23/48

FI (4)：

G01N 21/89 B , C23F 1/00 , G01N 21/84 E , H01L 23/48

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-151606 Applicant：オムロン株式会社
プリント回路基板検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-053354 Applicant：コントロールオートメイションインコーポレイテッド
特開平3-105239

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