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J-GLOBAL ID：200903074334754285

X線回折測定装置

Inventor： 谷川 明男 ,  秋本 晃一
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 舘野 千惠子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994206134
Publication number (International publication number)：1996054360
Application date： Aug. 09, 1994
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 エネルギー分散X線回折における、測定ごとのスペクトルのバックグラウンドの変化を極めて小さくし、測定結果の高い再現性が得られる装置を提供する。【構成】 白色X線1を被測定物4に入射するスリット2と、被測定物4からの回折X線9のエネルギースペクトルを測定する半導体検出器6と、被測定物4からの回折X線9の強度を計数測定する機構10,11と、測定物4を所望の角度に傾斜、回転させることのできる試料ステージ3とを備える。

Claim (excerpt)：

X線源からの白色X線を被測定物に入射する機構と、該被測定物からの回折X線のエネルギースペクトルを測定する機構と、前記被測定物からの回折X線の強度を計数測定する機構と、前記被測定物を所望の角度に回転させる機構とから構成されてなることを特徴とするX線回折測定装置。