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J-GLOBAL ID：200903074385652363

集積型SPMセンサ

Inventor： 神谷 宜孝
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995137479
Publication number (International publication number)：1996304423
Application date： May. 12, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 探針部に光注入機構を集積化し、カンチレバー部に光検出機構を集積化して装置の小型化を図った集積型SPMセンサを提供する。【構成】 自由端に探針部6を有するN型シリコン3からなるカンチレバー部4と、該カンチレバー部4の基端を支持するレバー支持部1とを備え、探針部6には、GaP基板5上にP型GaP層17とN型GaP層18を積層して構成した発光ダイオードを設け、カンチレバー部4には、該カンチレバー部4を構成するN型シリコン3と該N型シリコン3上に形成したP型シリコン層8とで構成したフォトダイオードを設けて、集積型SPMカンチレバーを構成し、該カンチレバーに対して、フォトダイオードからの信号を受けて表面情報を出力する信号処理回路を設けて集積型SPMセンサを構成する。

Claim (excerpt)：

自由端に探針部を有するカンチレバー部と、該カンチレバー部の基端を支持する支持部と、前記探針部に設けられた光注入機構と、前記カンチレバー部に設けられた光検出機構とを有する集積型SPMカンチレバーに対して、前記光検出機構からの信号を受けて表面情報を出力する信号処理回路を設けて構成したことを特徴とする集積型SPMセンサ。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 光集積型変位計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-069467   Applicant：オリンパス光学工業株式会社