画像検査・測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：土井健二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997349394
Publication number (International publication number)：1999183124
Application date： Dec. 18, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】画像検査・測定装置は、広い視野、即ち低い倍率であることと、高い分解能、即ち高い倍率であることが望まれる。【解決手段】光学系を介して撮像装置により撮像した被検査物の画像信号を利用して前記被検査物の検査あるいは測定を行う画像検査・測定装置において、前記光学系は、対物レンズと、前記対物レンズからの光束を分岐する光分岐手段と、前記光分岐手段で分岐した一方の光束を高倍率側で変倍する第1の光学系と、前記光分岐手段で分岐した他方の光束を低倍率側で変倍する第2の光学系とを有することを特徴とする画像検査・測定装置を提供する。

Claim (excerpt)：

光学系を介して撮像装置により撮像した被検査物の画像信号を利用して前記被検査物の検査あるいは測定を行う画像検査・測定装置において、前記光学系は、対物レンズと、前記対物レンズからの光束を分岐する光分岐手段と、前記光分岐手段で分岐した一方の光束を高倍率側で変倍する第1の光学系と、前記光分岐手段で分岐した他方の光束を低倍率側で変倍する第2の光学系とを有することを特徴とする画像検査・測定装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 , G01B 11/24 , G01N 21/88 , G06T 1/00

FI (4)：

G01B 11/00 H , G01B 11/24 C , G01N 21/88 J , G06F 15/64 320 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭63-044735
観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-215655 Applicant：株式会社ニコン
顕微鏡用光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-203626 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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