観察装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大森聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994215655
Publication number (International publication number)：1996075662
Application date： Sep. 09, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】観察装置のモニタ上での画質を良好に保ちながら、変倍比を大きくし、更に倍率の変化数を増加させると共に、変倍時の光学的な収差変動を少なくする。【構成】物体1からの光を第1対物レンズ2及び第2対物レンズ3を介して集光し、物体1の像を形成する。第2対物レンズ3の後に対物レンズ2,3の光軸AXに対して角度を自由に調節できる光路切替ミラー10を配置し、物体1からの反射光束ILを、光路切替ミラー10の面で順次異なる方向に反射させ、物体1と共役な位置に配置された分解能の異なる撮像素子6a,6b,6cの撮像面に順次物体1の像を結像する。

Claim (excerpt)：

対物光学系を介して物体面上の被検物を観察する装置において、前記物体面と共役な複数の像面を形成する多像面形成手段と、該多像面形成手段により形成される複数の像面にそれぞれ配置される互いに分解能の異なる複数の2次元撮像素子と、を有することを特徴とする観察装置。

IPC (4)：

G01N 21/88 , G01B 11/00 , H04N 5/232 , H04N 7/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

表面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-193782 Applicant：株式会社リコー
特表昭62-501654
光ビーム作成方法、装置、それを用いた寸法測定方法、外観検査方法、高さ測定方法、露光方法および半導体集積回路装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-276011 Applicant：株式会社日立製作所

Show all

Return to Previous Page