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J-GLOBAL ID：200903074534072723

光洗浄方法

Inventor： 磯 慎一 ,  松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  菅原 寛 ,  平本 立躬
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995060118
Publication number (International publication number)：1996236492
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 洗浄効率が高く、紫外線や熱によるダメージが少なく、ランプ交換頻度が少なく、大面積を精密洗浄できる光洗浄方法を提供する。【構成】 被照射物を酸素を含む雰囲気中に配置して酸素と被照射物に紫外線ランプからの紫外線を照射するUV/O3 洗浄方法において、紫外線ランプへの電気入力の入力と遮断の繰り返しによって洗浄中に該紫外線ランプの点灯と消灯を行うものであるが、特に、該紫外線ランプとして誘電体バリア放電ランプが良い。

Claim (excerpt)：

被照射物を酸素を含む雰囲気中に配置して酸素と被照射物に紫外線ランプからの紫外線を照射するUV/O3 洗浄方法において、紫外線ランプへの電気入力の入力と遮断の繰り返しによって洗浄中に該紫外線ランプの点灯と消灯を行うことを特徴とした光洗浄方法。

IPC (5)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/302

FI (6)：

H01L 21/304 341 D ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/304 341 S ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/302 N ,  H01L 21/302 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-280832
  
• 誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-123160   Applicant：ウシオ電機株式会社