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J-GLOBAL ID：200903074695215974
脆性材料の加工方法及びその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大塚 康徳 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994126388
Publication number (International publication number)：1995075944
Application date： Jun. 08, 1994
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：
【要約】【目的】 延性モード領域の研削加工を通常の研削加工装置を用いて実現可能にする。【構成】 保持基台上に付設された無数の砥粒からなる砥石を、脆性材料からなる被加工物の被加工面に対して所定圧力で押し当てつつ、被加工物との相対移動動作に伴い前記被加工面の研削乃至研磨加工するため、無数の砥粒の内、研削乃至研磨加工に関与する砥粒の被加工面への切込深さdを、被加工物の脆性破壊が生じる最小の切込深さの臨界切込深さdC 以下となるように所定圧力を設定して研削乃至研磨加工を行う。
Claim (excerpt)：
保持基台上に付設された無数の砥粒からなる砥石を、脆性材料からなる被加工物の被加工面に対して所定圧力で押し当てつつ、被加工物との相対移動動作により前記被加工面を研削乃至研磨加工する脆性材料の加工方法において、前記無数の砥粒の内、前記研削乃至研磨加工に関与する砥粒の前記被加工面への切込深さdを、前記被加工物に脆性破壊が生じる最小の切込深さの臨界切込深さであるdC 以下となるように前記所定圧力を設定して研削乃至研磨加工を行うことを特徴とする脆性材料の加工方法。
Patent cited by the Patent：
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