外観検査方法及び外観検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西川惠清 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996342839
Publication number (International publication number)：1998185832
Application date： Dec. 24, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】欠陥の検出精度が高い外観検査方法及び外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査は、照明手段30によって被検査物10表面を照明した状態で、ハーフミラー40を介して被検査物10の所定検査領域を撮像手段20により撮像し、撮像手段20により撮像された画像を前記画像処理手段によって画像処理することで行われる。照明手段30は、被検査物10を中心として球面状に配置された複数の光源からなり、これら複数の光源は被検査物10の鉛直上方の位置を光源中心として対称な位置に配置されている。

Claim (excerpt)：

印刷回路基板などよりなる被検査物の所定検査領域における傷や異物等の欠陥を検出する外観検査方法であって、所定検査領域における微小な凹凸の全面に均一な光が照射されるように輝度分布させた照明手段により被検査物を照明し、被検査物体からの反射光をハーフミラーにより撮像手段に対する向きへ反射させ、前記撮像手段により所定検査領域を撮像することを特徴とする外観検査方法。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G01B 11/24

FI (2)：

G01N 21/88 F , G01B 11/24 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

イメージスキャナの照明装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-248039 Applicant：株式会社三協精機製作所, グローリー工業株式会社
特開平1-314955
光学ユニットと照明方法およびその装置と検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-082265 Applicant：日本アビオニクス株式会社

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