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J-GLOBAL ID:200903074780421281
集塵/カウント装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000109582
Publication number (International publication number):2001289769
Application date: Apr. 11, 2000
Publication date: Oct. 19, 2001
Summary:
【要約】【課題】 簡単で、再現性の良い測定を可能にしたドライ方式の集塵/カウント装置を提供する。【解決手段】 密閉構造のチャンバーと、このチャンバーに設けられた空気流入口と、この気体流入口に設けられたウルパフィルタと、前記チャンバーに設けられた空気流出口と、この空気流出口に接続されたサイクロン式の大流量パーティクル集塵/カウント装置と、前記チャンバー内に設けられ集塵対象物が取付けられるターンテーブルと、前記集塵対象物に空気を吹き付けるノズルとを具備した事を特徴とする集塵/カウント装置である。
Claim (excerpt):
密閉構造のチャンバーと、このチャンバーに設けられた空気流入口と、この気体流入口に設けられたウルパフィルタと、前記チャンバーに設けられた空気流出口と、この空気流出口に接続されたサイクロン式の大流量パーティクル集塵/カウント装置と、前記チャンバー内に設けられ集塵対象物が取付けられるターンテーブルと、前記集塵対象物に空気を吹き付けるノズルとを具備した事を特徴とする集塵/カウント装置。
IPC (2):
FI (3):
G01N 15/00 C
, G01N 1/02 B
, G01N 1/02 D
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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特開昭63-208737
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パーティクルサンプラ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-162902
Applicant:横河電機株式会社
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ダストサンプラー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-091126
Applicant:横河電機株式会社
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搬送アーム洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-351269
Applicant:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
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