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J-GLOBAL ID：200903074904589860

走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法

Inventor： モーゼス,エリシャ ,  ジク,オリー ,  ティベルジュ,ステファン
Applicant, Patent owner： エダ リサーチ アンド ディベロップメント カンパニー,リミティド ,  エル-マル テクノロジーズ リミティド
Agent (5)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  吉井 一男 ,  西山 雅也
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002547196
Publication number (International publication number)：2004515049
Application date： Nov. 30, 2001
Publication date： May. 20, 2004
Summary：

走査型電子顕微鏡と共に使用するのに適したチャンバ(34)。チャンバは、膜(36)で密封された少なくとも1つのアパーチャを含む。膜(36)は真空に耐えるように適合され、電子に対する透過性をもち、チャンバ(34)の内部は、前記真空から隔離されている。チャンバは、生きた細胞を内含する湿潤サンプル(32)を電子顕微鏡の下で検分できるようにするために有用である。

Claim (excerpt)：

走査型電子顕微鏡と共に使用するのに適したチャンバにおいて、膜で密封された少なくとも1つのアパーチャを含み、前記膜が真空に耐えるように適合されており、かつ電子に対する透過性を有し、内部が前記真空から隔離されているチャンバ。

IPC (6)：

H01J37/28 ,  G01N1/28 ,  G01N23/225 ,  G01N23/227 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

FI (6)：

H01J37/28 B ,  G01N23/225 ,  G01N23/227 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 Z ,  G01N1/28 F

F-Term (29)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01 ,  2G001LA01 ,  2G001MA02 ,  2G052AA28 ,  2G052AD29 ,  2G052AD34 ,  2G052AD49 ,  2G052AD54 ,  2G052CA04 ,  2G052CA45 ,  2G052DA13 ,  2G052DA22 ,  2G052GA33 ,  2G052JA04 ,  2G052JA08 ,  2G052JA15 ,  2G052JA16 ,  5C001AA07 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 電子顕微鏡等の試料ホルダ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-005828   Applicant：株式会社蛋白工学研究所, 日本電子株式会社
• 特開昭47-024961
  

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ATOMOSPHERIC SCANNING ELECTRON MICROSCOPY