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J-GLOBAL ID：200903075045945125

アルミナ質焼結体およびその製造方法、並びに耐プラズマ部材

Inventor： 高坂 祥二 ,  松之迫 等 ,  伊東 裕見子 ,  松本 秀美 ,  中原 正博
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998274045
Publication number (International publication number)：2000103689
Application date： Sep. 28, 1998
Publication date： Apr. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】ハロゲン化ガスのプラズマに対して優れた耐食性を具備したアルミナ質焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】緻密化されたアルミナ質焼結体を、周期律表第3a族元素酸化物粉末中および/または3RE2 O3 ・5Al2 O3 (RE:周期律表第3a族元素)で表される化合物粉末中に埋設し、1300°C以上の温度で熱処理をするか、あるいは、アルミナ質成形体の表面に、周期律表第3a族元素酸化物粉末および/または3RE2 O3 ・5Al2 O3 (RE:周期律表第3a族元素)で表される化合物粉末を含有するスラリーを塗布した後、1400〜1800°Cの温度で焼成することによって、アルミナ質焼結体の表面に3RE2 O3 ・5Al2 O3(RE:周期律表第3a族元素)などの周期律表第3a族元素とアルミニウムの複合酸化物の結晶性化合物層を形成することにより、ハロゲン化ガスのプラズマに対する耐プラズマ性を向上することができる。

Claim (excerpt)：

アルミナ質焼結体の表面に、周期律表第3a族元素とアルミニウムの複合酸化物からなる結晶性化合物層が形成されてなることを特徴とするアルミナ質焼結体。

IPC (3)：

C04B 41/87 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

C04B 41/87 A ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/302 B

F-Term (29)：

5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004BB30 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA03 ,  5F004DA04 ,  5F004DA05 ,  5F004DA06 ,  5F004DA07 ,  5F004DA08 ,  5F004DA09 ,  5F004DA10 ,  5F004DA11 ,  5F004DA12 ,  5F004DA13 ,  5F004DA14 ,  5F004DA15 ,  5F004DA16 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA19 ,  5F004DA20 ,  5F004DA29 ,  5F004DB00 ,  5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031EA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 耐蝕性部材、ウエハー設置部材および耐蝕性部材の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-325171   Applicant：日本碍子株式会社
• 特開平3-115169
  
• 特開平3-115170