耐蝕性部材、ウエハー設置部材および耐蝕性部材の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997325171
Publication number (International publication number)：1999080925
Application date： Nov. 12, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】特に500°C以上の高温領域において、ハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対してを暴露したときにも、腐食を防止し、パーティクルの発生を防止できるような耐蝕性部材を提供する。【解決手段】ハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性部材であって、本体と、この本体の表面に形成されている耐蝕層とを備えており、耐蝕層が、希土類元素およびアルカリ土類元素からなる群より選ばれた一種以上の元素のフッ化物を含有していることを特徴とする。好ましくは、耐蝕層がフッ化物からなる膜であり、また本体が窒化アルミニウムセラミックスからなる。

Claim (excerpt)：

ハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性部材であって、本体と、この本体の表面に形成されている耐蝕層とを備えており、前記耐蝕層が、希土類元素およびアルカリ土類元素からなる群より選ばれた一種以上の元素のフッ化物を含有していることを特徴とする、耐蝕性部材。

IPC (4)：

C23C 8/36 , C04B 41/87 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (4)：

C23C 8/36 , C04B 41/87 Z , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-066657
特開平4-191379
特開平4-099282

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