クリーンフィラーを配合した架橋性フッ素系エラストマー組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：朝日奈宗太
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006294785
Publication number (International publication number)：2007084832
Application date： Oct. 30, 2006
Publication date： Apr. 05, 2007
Summary：

【課題】水分発生量および有機系アウトガス量がいずれも低減化されている極めてクリーンなフィラーを使用した半導体製造装置用の成形品材料として好適な架橋性フッ素系エラストマー組成物および成形品を提供する。【解決手段】200°Cで2時間加熱したときの単位表面積当たりの重量減少率が2.5×10-5重量%/m2以下であり、かつ200°Cで15分間加熱したときの有機系ガスの総発生量が2.5ppm以下であるフィラーと架橋性フッ素系エラストマーとからなる架橋性フッ素系エラストマー組成物およびその架橋成形品。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

200°Cで2時間加熱したときの単位表面積当たりの重量減少率が2.5×10-5重量%/m2以下であり、かつ200°Cで15分間加熱したときの有機系ガスの総発生量が2.5ppm以下であるフィラーと架橋性フッ素系エラストマーとからなる架橋性フッ素系エラストマー組成物。

IPC (4)：

C08L 27/12 , C09K 3/10 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (4)：

C08L27/12 , C09K3/10 M , C09K3/10 Q , H01L23/30 R

F-Term (71)：

4H017AA03 , 4H017AA24 , 4H017AA29 , 4H017AB12 , 4H017AB15 , 4H017AC03 , 4H017AC15 , 4H017AC17 , 4H017AD01 , 4H017AD06 , 4H017AE05 , 4J002AC031 , 4J002AC061 , 4J002AC071 , 4J002AC081 , 4J002AC091 , 4J002BB031 , 4J002BB061 , 4J002BB121 , 4J002BB181 , 4J002BC031 , 4J002BD031 , 4J002BD101 , 4J002BD121 , 4J002BD141 , 4J002BD151 , 4J002BF021 , 4J002BG051 , 4J002BG101 , 4J002BN151 , 4J002CC101 , 4J002CC181 , 4J002CD001 , 4J002CF001 , 4J002CG001 , 4J002CK011 , 4J002CK021 , 4J002CL001 , 4J002CP031 , 4J002DB016 , 4J002DD036 , 4J002DD046 , 4J002DD066 , 4J002DD076 , 4J002DE076 , 4J002DE096 , 4J002DE106 , 4J002DE116 , 4J002DE136 , 4J002DE146 , 4J002DE216 , 4J002DF016 , 4J002DG026 , 4J002DG046 , 4J002DJ016 , 4J002DK006 , 4J002GJ02 , 4J037AA08 , 4J037AA18 , 4J037CB23 , 4J037CC28 , 4J037DD25 , 4J037EE02 , 4J037EE14 , 4J037EE26 , 4J037FF21 , 4M109AA01 , 4M109EA01 , 4M109EB12 , 4M109EB13 , 4M109EC20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭59-074165
表面改質酸化チタン粉末
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-080067 Applicant：日本アエロジル株式会社
特開昭54-101795

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