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J-GLOBAL ID：200903075089843613

露光装置及び除振装置、システム同定装置及びその方法

Inventor： 涌井 伸二 ,  足立 修一 ,  間山 武彦 ,  加藤 宏昭
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999165369
Publication number (International publication number)：2000082662
Application date： Jun. 11, 1999
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】 運動機構の動特性の経時的な変化を短時間、かつ高精度に捕捉して同定する。【解決手段】 運動機構において、その運動を制御するためのアクチュエータに疑似不規則信号を印加し、この疑似不規則信号の時系列データとともに運動機構の運動状態を計測するセンサの時系列データを収集してデータ記憶手段に記憶させ、該データ記憶手段に記憶させた時系列データに対してフィルタリングを施し、このフィルタリングしたデータを使ってシステム同定を施し、システム同定によって算出した数学モデルを使って運動機構の特性値を導出し、特性値の変化を経時的に捕捉して運動機構の性能維持の適否を自己診断する。

Claim (excerpt)：

疑似不規則信号を発生し、運動機構においてその運動を制御するためのアクチュエータに印加する疑似不規則信号発生手段と、該疑似不規則信号の時系列データとともに前記運動機構の運動状態を計測するセンサの時系列データを収集して記憶するデータ記憶手段と、該データ記憶手段に記憶された時系列データに対してフィルタリングを施すプリフィルタリング手段と、該プリフィルタリング手段で処理したデータに対して数学モデルを導出するシステム同定手段と、該システム同定手段が導出する数学モデルを使って前記運動機構の特性値を導出する特性抽出・診断手段と、を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 503 F ,  F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 6自由度剛体振動系のモデリング方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-139560   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平3-033623
  
• 特開平3-033623