マイクロレンズ付赤外線検出素子およびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：菊谷公男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995294714
Publication number (International publication number)：1997113352
Application date： Oct. 18, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】マイクロレンズ付赤外線検出素子の赤外線の集束率の向上を図る。【解決手段】赤外線感知部102が形成された第1の半導体基板101に、赤外線感知部102に赤外線を収束するマイクロレンズ105が形成された第2の半導体基板104を、レンズ部105aが赤外線感知部102に凸状に向き、レンズ部105aと赤外線感知部102の間に空洞106が形成されるように接合する。これにより、レンズ部105aを通過した赤外線は赤外線感知部102に直接入射され、赤外線の透過率が向上される。

Claim (excerpt)：

赤外線感知部が形成された第1の半導体基板と、前記赤外線感知部に赤外線を収束するマイクロレンズが形成された第2の半導体基板とを接合して成るマイクロレンズ付赤外線検出素子において、前記マイクロレンズのレンズ部が前記赤外線感知部に向いて凸状に配置され、前記レンズ部と前記赤外線感知部の間に空洞が形成されていることを特徴とするマイクロレンズ付赤外線検出素子。

IPC (3)：

G01J 1/02 , G02B 3/00 , G01J 1/04

FI (3)：

G01J 1/02 B , G02B 3/00 A , G01J 1/04 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

赤外線検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-309872 Applicant：松下電工株式会社
赤外線撮像素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-293256 Applicant：日本電気株式会社
特開平1-308927

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