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J-GLOBAL ID:200903075500958699

吸着検出方法および吸着検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 筒井 大和 ,  小塚 善高
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003177552
Publication number (International publication number):2004202673
Application date: Jun. 23, 2003
Publication date: Jul. 22, 2004
Summary:
【課題】真空吸着搬送装置において、ワークを吸着したか否かを確実に検出することである。【解決手段】着脱路内に負圧が供給されたときの吸着準備圧力Psetを検出したときは、この吸着準備圧力Psetに所定の吸着検出値ΔPsetを加えた吸着検出圧力Pjが設定される。そして、吸着動作後の着脱路内圧力Pinが吸着検出圧力Pj以上となったときにワークの吸着が検出され、ワークの吸着が検出されたときに搬送動作が開始される。搬送中は、着脱路内圧力Pinと元圧Psとの比較を行ない、着脱路内圧力Pinと元圧Psとがほぼ等しい場合にはワークは吸着具から落下していないものと判定する。また、搬送動作後には着脱路内に正圧が供給され、着脱路内の圧力Pinが離脱圧力値Presetになったときにワークの離脱が検出される。そして、ワークの離脱が検出されたときには吸着検出圧力Pjは絶対真空となる到達不可値に設定される。【選択図】 図6
Claim (excerpt):
負圧源と正圧源とに接続される着脱路が連通された吸着具にワークが吸着されたか否かを検出する吸着検出方法であって、 前記着脱路内に負圧を供給したときの吸着準備圧力に所定の吸着検出値を加えて吸着検出圧力を設定する吸着検出圧力設定工程と、 前記着脱路内の圧力が前記吸着検出圧力以下であるか否かを判定する吸着検出工程と、 前記着脱路内の圧力が前記吸着準備圧力以上の圧力に設定される離脱圧力以上であるか否かを判定する離脱検出工程と、 前記離脱検出工程において前記着脱路内の圧力が前記離脱圧力以上であると判定されたときに、前記吸着検出圧力を所定の到達不可値に設定する到達不可値設定工程とを有し、 前記到達不可値は、前記吸着検出圧力を再び前記検出圧力設定工程により設定するまでにワークの吸着を検出し得ない値であることを特徴とする吸着検出方法。
IPC (4):
B25J15/06 ,  H01L21/50 ,  H05K13/04 ,  H05K13/08
FI (4):
B25J15/06 B ,  H01L21/50 C ,  H05K13/04 B ,  H05K13/08 N
F-Term (20):
3C007AS24 ,  3C007FS01 ,  3C007FU04 ,  3C007GU03 ,  3C007NS17 ,  5E313AA03 ,  5E313CC02 ,  5E313CC03 ,  5E313DD02 ,  5E313DD03 ,  5E313DD05 ,  5E313DD13 ,  5E313DD50 ,  5E313EE02 ,  5E313EE03 ,  5E313EE05 ,  5E313EE24 ,  5E313EE33 ,  5E313EE34 ,  5E313EE50
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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