マイクロ構造体の光駆動装置およびその方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長瀬成城
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001215403
Publication number (International publication number)：2003025295
Application date： Jul. 16, 2001
Publication date： Jan. 29, 2003
Summary：

【要約】【課題】光を照射することによって硬化する光硬化性樹脂を用い光造形法によって形成したマイクロ構造体を駆動するための、マイクロ構造体の光駆動装置を提供する。【解決手段】マイクロ構造体の一部にレーザ光を集光する光照射手段1、2、3、4、5、6と、該光照射手段によって形成された集光点を三次元で移動させる移動手段5、7、8とからなることを特徴とするマイクロ構造体の光駆動装置。

Claim (excerpt)：

マイクロ構造体の一部にレーザ光を集光する光照射手段と、該光照射手段によって形成された集光点を三次元で移動させる移動手段とからなることを特徴とするマイクロ構造体の光駆動装置。

IPC (2)：

B81B 7/02 , G01N 1/00 101

FI (2)：

B81B 7/02 , G01N 1/00 101 A

F-Term (6)：

2G052AD12 , 2G052BA21 , 2G052CA07 , 2G052CA10 , 2G052JA01 , 2G052JA16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

2光子マイクロ光造形方法およびその装置、2光子マイクロ光造形法によって形成した部品および可動機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-342743 Applicant：科学技術振興事業団

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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