Pat

J-GLOBAL ID：200903075586761582

静電アクチュエータ及びその駆動方法

Inventor： 古 賀 章 浩 ,  鈴 森 康 一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995319329
Publication number (International publication number)：1997163761
Application date： Dec. 07, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 安定かつ良好な駆動を実現することを可能にする。【解決手段】 第1の本体部2aと、この第1の本体部の面上に形成されて少なくとも2相の電圧が印加される複数の電極3aと、を有している固定子1aと、前記第1の本体部と対向するように配置される第2の本体部12と、この第2の本体部の、前記第1の本体部の電極が形成された面と対向する面に形成された複数の電極13aと、を有している可動子11と、を備え、前記第1および第2の本体部の対向する面の一方に突起12aが設けられていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

第1の本体部と、この第1の本体部の面上に形成されて少なくとも2相の電圧が印加される複数の電極と、を有している固定子と、前記第1の本体部と対向するように配置される第2の本体部と、この第2の本体部の、前記第1の本体部の電極が形成された面と対向する面に形成された複数の電極と、を有している可動子と、を備え、前記第1および第2の本体部の対向する面の一方に突起が設けられていることを特徴とする静電アクチュエータ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静電アクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-259274   Applicant：住友重機械工業株式会社, 日本電気真空硝子株式会社
• 静電アクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-186315   Applicant：株式会社安川電機