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J-GLOBAL ID:200903075625565044
ビーム補償用光学系
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
関 正治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998238225
Publication number (International publication number):2000066104
Application date: Aug. 25, 1998
Publication date: Mar. 03, 2000
Summary:
【要約】【課題】 ビームの波長が変化しても光学系の再調整をする必要がなく、また出力光束の断面形状を所望の形状に調整することができる、歪みの少ない平行光束を得る無収差ビーム補償光学系を提供する。【解決手段】 回転楕円面ミラー1の第1焦点3にビーム源6を配置し、回転放物面ミラー2をその焦点と第2焦点4が一致するようにして対向配置して、ビーム源6から放射され回転楕円面ミラー1で反射して第2焦点4を通過したビームを回転放物面ミラー2で反射させるようにしたことを特徴とする。回転楕円面ミラー1と回転放物面ミラー2はそれぞれ回転機構11、12や並進機構13を備えて出力ビームの形状を調整することができる。
Claim (excerpt):
回転楕円面ミラーと回転放物面ミラーを備え、該回転楕円面ミラーの第1焦点にビーム源を配置し、該回転楕円面ミラーの第2焦点と前記回転放物面ミラーの焦点を一致させて両ミラーが該焦点を挟んで対向するように配置して、前記ビーム源から放射され前記回転楕円面ミラーで反射して前記第2焦点を通過したビームを前記回転放物面ミラーで反射させるようにしたことを特徴とするビーム補償用光学系。
F-Term (9):
2H087KA26
, 2H087LA25
, 2H087LA26
, 2H087NA04
, 2H087RA43
, 2H087RA45
, 2H087TA04
, 2H087TA06
, 2H087TA08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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X線光学系
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-115389
Applicant:石川島播磨重工業株式会社
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光によるLSI製造縮小投影露光装置の光学系
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-327947
Applicant:篠原康子
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プロジェクター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-151893
Applicant:シャープ株式会社
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特開平2-223845
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照明装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-063080
Applicant:三菱電機株式会社
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レーザ装置及びそれを用いたレーザ画像記録装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-222488
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平1-258889
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特開平3-254384
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特開平3-018494
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光路変換部品及び光路変換方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-285034
Applicant:日本電信電話株式会社
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