外観検査装置および外観検査方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高田幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002165526
Publication number (International publication number)：2004012275
Application date： Jun. 06, 2002
Publication date： Jan. 15, 2004
Summary：

【課題】高速データ転送が可能な撮像手段であるマルチタップ出力方式のCCDラインセンサの高速データ転送速度と同等な高速検査をソフトウェア処理により実現する検査システムを提供する。【解決手段】高速データ転送が可能な撮像手段であるマルチタップ出力方式のCCDラインセンサより出力された複数チャンネルの画像信号を分配器または分配ケーブルにより画像入力機能を装備した複数台の画像処理用パソコンに振り分け出力し、画像の1部が重複した画像を表わす検出画像データを生成することによりマルチタップ出力方式CCDラインセンサの高速データ転送速度と同等な高速検査をソフトウェアにより実現する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被検査物を照射するための照明系と、前記被検査物の光学像を結像するための結像系と、結像された光学像を受光するための撮像系と、該撮像系で形成された光学像を画像信号に変換するための変換系と、該変換系で変換された画像信号を出力する出力系と、該出力系から出力された画像信号を複数個に分配する分配系と、該分配系で分配された画像信号を取り込むための画像入力系と、該画像入力系を内蔵している小型計算機群とを有する被検査物の外観検査装置において、小型計算機群は、画像入力ボードを共通とする隣接する二つの検査チャンネルからなる画像データをそれぞれ有する2つの小型計算機から構成される第1の小型計算機群と、該第1の小型計算機群の画像入力ボードが異なった2つの小型計算機に分配された隣接するチャンネル側の画像データをそれぞれ入力して隣接する二つの検査チャンネルからなる画像データを形成する第2の小型計算機群とからなり、第1および第2の小型計算機群の有する隣接する二つの検査チャンネルの検出画像データに基づいて被検査物の外観検査を行うことを特徴とする外観検査装置。

IPC (3)：

G01N21/956 , G06T1/00 , H05K3/00

FI (3)：

G01N21/956 B , G06T1/00 400D , H05K3/00 Q

F-Term (15)：

2G051AA65 , 2G051AB07 , 2G051BC06 , 2G051DA07 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA19 , 2G051EA21 , 5B047AA12 , 5B047BB02 , 5B047BC14 , 5B047BC23 , 5B047CA04 , 5B047CB22 , 5B047DC11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平2-282868
外観検査システムおよび外観検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-167154 Applicant：株式会社日立製作所

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