反応発光色を用いたドライプロセス監視方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柏谷昭司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997016304
Publication number (International publication number)：1998214821
Application date： Jan. 30, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】反応発光色を用いたドライプロセス監視方法に関し、ドライプロセス中におけるプロセス異常を検出し、不良製品の製造を防止する。【解決手段】ドライプロセス中に発生する反応発光色を受像手段2によってフルカラーで受像し、受像した画像信号に基づいてプロセス状態を監視する。

Claim (excerpt)：

ドライプロセス中に発生する反応発光色を受像手段によってフルカラーで受像し、受像した画像信号に基づいてプロセス状態を監視することを特徴とする反応発光色を用いたドライプロセス監視方法。

IPC (3)：

H01L 21/3065 , H01L 21/205 , H01L 21/66

FI (3)：

H01L 21/302 E , H01L 21/205 , H01L 21/66 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-206540
リーク検出方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-227580 Applicant：富士通株式会社, 株式会社富士通東北エレクトロニクス
画像信号処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-083271 Applicant：キヤノン株式会社

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