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J-GLOBAL ID：200903075687775436

ダマングレーティングの製作方法

Inventor： 小枝 勝
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 縣 浩介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992212143
Publication number (International publication number)：1994034806
Application date： Jul. 16, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ダマングレーティングをイオンビームエッチング法で作成する場合の作業工程を簡単化し、かつ格子谷面の平滑度が優れたエッチング方法。【構成】 石英基板面にホトレジストで格子パターンを形成し、エッチングガスとしてCHF3 にArを混合したガスを用いてイオンビームエッチングを行う。

Claim (excerpt)：

石英或は光学ガラス基板面にホトレジストによってダマングレーティングのパターンを形成し、CHF3 にArを混合したガスをエッチングガスとして用い、イオンビームエッチング法により石英基板面の露出部をエッチングすることを特徴とするダマングレーティングの製作方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-253802
  
• 格子板の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-212837   Applicant：株式会社島津製作所
• 特開平1-161302