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J-GLOBAL ID：200903075696788494

インプリント加工用金型およびその製造方法

Inventor： 南野 悦男 ,  東浦 忠司
Applicant, Patent owner： ダイキン工業株式会社
Agent (7)： 三枝 英二 ,  掛樋 悠路 ,  小原 健志 ,  斎藤 健治 ,  藤井 淳 ,  関 仁士 ,  中野 睦子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003150292
Publication number (International publication number)：2004351693
Application date： May. 28, 2003
Publication date： Dec. 16, 2004
Summary：

【課題】高分子樹脂との剥離性が良好であり、離型剤が金型の凹部の溝部分に入り込んでおらず、プレス加工による正常なパターンの転写が繰り返し可能なインプリント加工用金型を、大気中で、有毒ガスを発生することなく、製造する。【解決手段】金型の材料と化学的に反応する官能基を有するパーフルオロポリエーテルで被覆してなるインプリント加工用金型。インプリント加工用金型の表面を洗浄する第一の工程と、前記インプリント加工用金型を前記パーフルオロポリエーテルに暴露する第二の工程を含む、インプリント加工用金型の製造方法。さらに、インプリント加工用金型を加温加湿下に放置する第三の工程を含んでよい。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

金型の材料と化学的に反応する官能基を複数部位に有するパーフルオロポリエーテルで被覆してなることを特徴とするインプリント加工用金型。

IPC (2)：

B29C33/38 ,  B29C33/62

FI (2)：

B29C33/38 ,  B29C33/62

F-Term (13)：

4F202AG05 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ11 ,  4F202CA09 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CD22 ,  4F202CD30 ,  4F202CM47 ,  4F202CM54

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• インプリント加工用金型およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-091011   Applicant：ダイキン工業株式会社
• 特開平4-364906