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J-GLOBAL ID：200903081688394444

インプリント加工用金型およびその製造方法

Inventor：
平井 義彦

About 平井 義彦

, 
荒瀬 琢也

About 荒瀬 琢也


Applicant, Patent owner：
ダイキン工業株式会社

About ダイキン工業株式会社


Agent (1)： 安富 康男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001091011
Publication number (International publication number)：2002283354
Application date： Mar. 27, 2001
Publication date： Oct. 03, 2002
Summary：
【要約】【課題】 高分子樹脂との剥離性が良好であり、離型剤が金型の凹部の溝部分に入り込んでおらず、プレス加工による正常なパターンの転写が可能なインプリント加工用金型を、大気中で、有毒ガスを発生することなく、製造する。【解決手段】 金型の材料と化学的に反応する官能基を有するパーフルオロポリエーテルで被覆してなるインプリント加工用金型。インプリント加工用金型の表面を洗浄する第一の工程と、前記インプリント加工用金型を前記パーフルオロポリエーテルに暴露する第二の工程を含む、インプリント加工用金型の製造方法。さらに、インプリント加工用金型を加温加湿下に放置する第三の工程を含んでよい。
Claim (excerpt)：
金型の材料と化学的に反応する官能基を有するパーフルオロポリエーテルで被覆してなることを特徴とするインプリント加工用金型。
IPC (2)：
B29C 33/38 ,  C08G 65/00
FI (2)：
B29C 33/38 ,  C08G 65/00
F-Term (7)：
4F202AH36 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA09 ,  4F202CB01 ,  4F202CD22 ,  4J005AA09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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