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J-GLOBAL ID：200903075716590696

露光装置及びデバイス製造方法

Inventor： 高橋 正人
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005309545
Publication number (International publication number)：2007123319
Application date： Oct. 25, 2005
Publication date： May. 17, 2007
Summary：

【課題】ケーブル類の使用を抑え、良好に温度調整される露光装置を提供する。【解決手段】露光装置EXは、電力を受給する受給器を有し、受給した電力によって駆動する温調システム30と、受給器とは非接触状態で受給器に電力を供給する供給器とを備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、 電力を受給する受給器を有し、前記受給した電力によって駆動する温度調整装置と、 前記受給器とは非接触状態で前記受給器に電力を供給する供給器とを備えた露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3)：

H01L21/30 516E ,  H01L21/30 514E ,  G03F7/20 521

F-Term (4)：

5F046AA17 ,  5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046DA26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-131776   Applicant：株式会社ニコン