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J-GLOBAL ID:200903075730506053
樹脂封止装置及び樹脂封止方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001327654
Publication number (International publication number):2003133350
Application date: Oct. 25, 2001
Publication date: May. 09, 2003
Summary:
【要約】【課題】 マトリクス状に圧縮成形されるキャビティ凹部への樹脂供給量を均一にして封止樹脂の無駄がなく、成形品の成形品質を向上させた樹脂封止装置を提供する。【解決手段】 キャビティ凹部4がマトリクス状に形成されたモールド金型1のパーティング面がリリースフィルム5により覆われ、該リリースフィルム5に覆われたキャビティ凹部4にシート状樹脂6が供給され、半導体チップ7がキャビティ凹部4と同配置のマトリクス状に搭載された回路基板8が搬入されて、モールド金型1によりクランプして圧縮成形される。
Claim (excerpt):
キャビティ凹部がマトリクス状に形成されたモールド金型のパーティング面がリリースフィルムにより覆われ、該リリースフィルムに覆われたキャビティ凹部にシート状樹脂が供給され、半導体チップが前記キャビティ凹部と同配置のマトリクス状に搭載された被成形品が搬入されて、前記モールド金型によりクランプして圧縮成形されることを特徴とする樹脂封止装置。
IPC (5):
H01L 21/56
, B29C 43/18
, B29C 43/34
, B29K105:20
, B29L 31:34
FI (5):
H01L 21/56 T
, B29C 43/18
, B29C 43/34
, B29K105:20
, B29L 31:34
F-Term (22):
4F204AC03
, 4F204AD03
, 4F204AG03
, 4F204AH37
, 4F204AM32
, 4F204FA01
, 4F204FA15
, 4F204FB17
, 4F204FF01
, 4F204FF49
, 4F204FN11
, 4F204FN12
, 4F204FN15
, 4F204FQ38
, 5F061AA01
, 5F061BA03
, 5F061CA21
, 5F061DA01
, 5F061DA04
, 5F061DA06
, 5F061DA08
, 5F061DE06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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樹脂封止装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-348758
Applicant:アピックヤマダ株式会社
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樹脂封止型半導体装置の製造方法、樹脂封止型半導体装置及び封止用樹脂シート
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-244948
Applicant:株式会社東芝
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樹脂封止型半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-336768
Applicant:株式会社東芝
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