Pat
J-GLOBAL ID:200903030208198639
樹脂封止装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998348758
Publication number (International publication number):2000167841
Application date: Dec. 08, 1998
Publication date: Jun. 20, 2000
Summary:
【要約】【課題】 成形品の成形品質の向上させると共に、成形品のモールド金型からの離型を容易にした樹脂封止装置を提供する。【解決手段】 半導体チップ2が搭載された基板3を保持したまま搬送するハンドラー1と、ハンドラー1により搬送された基板3が搭載されるモールド金型7を備え、一方の金型に半導体チップ2を樹脂封止するための液体樹脂14を充填する成形凹部9が形成されたインサートブロック10を備えた樹脂封止部6とを備え、基板3はハンドラー1に保持されたままモールド金型7に搭載され、半導体チップ2を液体樹脂14を充填された成形凹部9に埋没させながら、該成形凹部9を重点的に加熱することにより液体樹脂14を硬化させて樹脂封止を行う。
Claim (excerpt):
半導体チップが搭載された基板を保持したまま搬送する基板保持手段と、前記基板保持手段により搬送された前記基板が搭載されるモールド金型を備え、一方の金型に前記半導体チップを樹脂封止するための封止樹脂を充填する成形凹部が形成された剥離性金型を備えた樹脂封止手段とを備え、前記基板は前記基板保持手段に保持されたまま前記モールド金型に搭載され、前記半導体チップを封止樹脂を充填された成形凹部に埋没させながら、該成形凹部を重点的に加熱することにより前記封止樹脂を硬化させて樹脂封止を行うことを特徴とする樹脂封止装置。
IPC (6):
B29C 33/02
, B29C 33/62
, B29C 45/14
, H01L 21/56
, B29K 27:18
, B29L 31:34
FI (4):
B29C 33/02
, B29C 33/62
, B29C 45/14
, H01L 21/56 T
F-Term (42):
4F202AD03
, 4F202AD05
, 4F202AD08
, 4F202AD19
, 4F202AH37
, 4F202AJ03
, 4F202AJ09
, 4F202AJ12
, 4F202AK09
, 4F202CA12
, 4F202CB01
, 4F202CB12
, 4F202CB20
, 4F202CM26
, 4F202CM73
, 4F202CN01
, 4F202CN18
, 4F202CN21
, 4F202CQ01
, 4F206AD03
, 4F206AD05
, 4F206AD08
, 4F206AD19
, 4F206AH37
, 4F206AJ03
, 4F206AJ09
, 4F206AJ12
, 4F206AK09
, 4F206JA02
, 4F206JB12
, 4F206JB20
, 4F206JF05
, 4F206JF23
, 4F206JL02
, 4F206JN43
, 4F206JQ81
, 5F061AA01
, 5F061BA03
, 5F061CA21
, 5F061DA01
, 5F061DA16
, 5F061DB02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
-
特開平1-189931
-
成形装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-330458
Applicant:株式会社東芝
-
リリースフィルムを用いる樹脂モールド装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-286934
Applicant:アピックヤマダ株式会社
-
樹脂モールド装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-286937
Applicant:アピックヤマダ株式会社
-
特開平4-031017
-
半導体装置樹脂封止用金型及び樹脂封止方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-238525
Applicant:日本電気株式会社
-
樹脂封止型半導体装置の製造方法及びその製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-184575
Applicant:日本電気株式会社
-
電子部品の樹脂封止成形用金型
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-354020
Applicant:トーワ株式会社
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