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J-GLOBAL ID：200903075755614888

微小球除去方法及びその装置

Inventor： 今田 雅史 ,  巽 宏平 ,  川上 洋司
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994037766
Publication number (International publication number)：1995226425
Application date： Feb. 10, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 配列基板における配列時、余分な微小金属球を確実かつ迅速に除去し得る微小球除去方法及びその装置を提供する。【構成】 微小球Bを配列・固定するための多数の配列孔11を有する配列基板10に対して、超音波振動を付与する超音波振動源を備えている。超音波振動源を作動させて、配列基板10を超音波振動させるようにしたものである。特に超音波振動源としての超音波振動子2は、配列基板10に内蔵され、或いは配列基板10の外部に設けられている。超音波振動子2を作動させることにより、余分な微小金属球B′が付着した配列基板10に超音波振動が付与される。この結果、配列基板10に付着した余分な微小球B′が瞬間的に除去される。

Claim (excerpt)：

多数の微小球を配列基板の所定位置に配列し、この配列基板に超音波振動を付与することにより、前記配列基板に付着した余分な微小球を除去するようにしたことを特徴とする微小球除去方法。

IPC (2)：

H01L 21/60 311 ,  H01L 21/321

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭48-015057
  
• 特開昭51-007043
  
• 特開昭52-130810