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J-GLOBAL ID：200903075805388345

質量測定用圧電振動子の製造方法および質量測定用圧電振動子並びに質量測定装置

Inventor：
小林 祥宏

About 小林 祥宏


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003072364
Publication number (International publication number)：2004282495
Application date： Mar. 17, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：
【課題】質量測定用圧電振動子のスプリアスの発生を防止する。【解決手段】質量測定用圧電振動子10は、圧電振動片12が逆メサ型に加工してある。圧電振動片12は、薄肉部14の両面に励振電極16a、16bを有する。質量測定用圧電振動子10は、圧電振動片12の励振電極16aを設けた側の表面に感応膜22が形成してある。感応膜22は、励振電極16aの外形に沿って形成した切断溝24によって、励振電極被覆部22aとその他の部分とに区画されている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
励振電極を設けた圧電振動片の表面を覆って感応膜を形成する工程と、 前記励振電極の外形に沿って前記感応膜に切断溝を形成して励振電極被覆部を他から区画し、前記圧電振動片のスプリアスまた共振特性を調整する工程と、 を有することを特徴とする質量測定用圧電振動子の製造方法。
IPC (7)：
H03H3/04 ,  G01G3/16 ,  G01N5/02 ,  G01N29/02 ,  G01N29/24 ,  H03H9/02 ,  H03H9/19
FI (7)：
H03H3/04 B ,  G01G3/16 ,  G01N5/02 A ,  G01N29/02 ,  G01N29/24 ,  H03H9/02 M ,  H03H9/19 A
F-Term (25)：
2G047AA01 ,  2G047AA04 ,  2G047BA04 ,  2G047BC04 ,  2G047BC15 ,  2G047EA10 ,  2G047GB21 ,  2G047GB32 ,  2G047GB38 ,  5J108AA01 ,  5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC09 ,  5J108DD02 ,  5J108EE18 ,  5J108FF01 ,  5J108FF03 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108KK02 ,  5J108KK05 ,  5J108KK06 ,  5J108NB02 ,  5J108NB04 ,  5J108NB05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (7)
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