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J-GLOBAL ID：200903075836118400

鉄シリサイド結晶の製造方法

Inventor：
小林 隆

About 小林 隆


Applicant, Patent owner：
日本電信電話株式会社

About 日本電信電話株式会社


Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001212894
Publication number (International publication number)：2003026497
Application date： Jul. 12, 2001
Publication date： Jan. 29, 2003
Summary：
【要約】【課題】鉄シリサイド結晶成長相の組成不均-という従来の問題点を解決し、組成の均-なβ-鉄シリサイド(FeSi2)結晶相を得ることができる鉄シリサイド結晶の製造方法を提供すること。【解決手段】鉄とシリサイドとの化合物である鉄シリサイド結晶の製造方法であって、鉄の原料として融点が60°C以下である有機鉄化合物を用いることを特徴とする。鉄とシリサイドとの化合物である鉄シリサイド結晶の製造方法であって、鉄の原料としてビスメチルシクロペンタジエニル鉄(Fe(CH3C5H4)2)を用いることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
鉄とシリサイドとの化合物である鉄シリサイド結晶の製造方法であって、鉄の原料として融点が80°C以下である有機鉄化合物を用いることを特徴とする鉄シリサイド結晶の製造方法
IPC (5)：
C30B 25/02 ,  C01B 33/06 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301 ,  H01L 21/365
FI (5)：
C30B 25/02 ,  C01B 33/06 ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/285 301 Z ,  H01L 21/365
F-Term (30)：
4G072AA20 ,  4G072BB11 ,  4G072GG01 ,  4G072GG03 ,  4G072HH03 ,  4G072JJ45 ,  4G072RR11 ,  4G077BA09 ,  4G077BE05 ,  4G077DB08 ,  4G077ED06 ,  4G077HA06 ,  4G077TB05 ,  4G077TK01 ,  4M104AA01 ,  4M104BB19 ,  4M104CC01 ,  4M104DD43 ,  4M104DD48 ,  4M104DD84 ,  4M104GG20 ,  4M104HH20 ,  5F045AA04 ,  5F045AA05 ,  5F045AB30 ,  5F045AC01 ,  5F045AC07 ,  5F045DP04 ,  5F045EC09 ,  5F045EE12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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