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J-GLOBAL ID：200903075874170106

表面形状および/または膜厚測定方法及びその装置

Inventor：
北川 克一

About 北川 克一


Applicant, Patent owner：
東レエンジニアリング株式会社

About 東レエンジニアリング株式会社


Agent (1)： 杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003110277
Publication number (International publication number)：2004317238
Application date： Apr. 15, 2003
Publication date： Nov. 11, 2004
Summary：
【課題】透明膜で覆われた測定対象物の凹凸状態の表面形状などを精度よく測定する表面形状および/または膜厚測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】白色光源からの白色光を透明膜で覆われた測定対称面と参照面とに照射しながら、測定対象面の距離を変動させることにより測定対象面と参照面とを反射する反射光の光路差を生じさせて、このときの干渉光の強度値を所定間隔でサンプリングする。得られ強度値群に基づいて干渉縞波形ピークを分離し、干渉縞波形ピークの特性値(強度値群)ごとに、ローパスフィルタにより平滑化処理し求まる包絡線からそれぞれのピーク位置情報を求める。この求まったピーク位置情報から透明膜の表面高さ、測定対象物の表面高さ、および透明膜の膜厚の少なくともいずれか一つを求める。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
白色光源からの白色光を透明膜で覆われた測定対象面と参照面とに照射しながら、前記測定対象面と参照面との距離を変動させることにより、測定対象面と参照面から反射して同一光路を戻る反射光によって干渉縞の変化を生じさせ、このときの干渉光の強度値に基づいて測定対象物面の特定箇所の透明膜の表面高さ、測定対象面の表面高さ、および透明膜の膜厚の少なくともいずれか一つを求める前記測定対象面の表面形状および/または膜厚測定方法において、 前記特定周波数帯域の白色光が照射された前記測定対象面と参照面との距離を変動させる第1の過程と、 前記測定対象面と参照面との距離を変動させる過程で、測定対象面の画像を所定間隔で連続して取得する第2の過程と、 前記所定間隔で連続して取得した複数枚の画像の各画素における干渉光の強度値群の変化を求める第3の過程と、 前記求めた干渉光の強度値群に含まれる複数個の干渉縞波形ピークを、干渉光の強度値群に基づいて分離する第4の過程と、 前記分離した各干渉縞波形ピークについて、前記測定対象面と参照面との距離に関連するピーク位置情報を求める第5の過程と、 前記求めた各ピーク位置情報に基づいて、測定対象面の特定箇所の透明膜の表面高さ、測定対象面の表面高さ、および膜厚の少なくともいずれか一つを求める第6の過程と を備えることを特徴とする表面形状および/または膜厚測定方法。
IPC (2)：
G01B11/24 ,  G01B11/06
FI (2)：
G01B11/24 D ,  G01B11/06 G
F-Term (17)：
2F065AA24 ,  2F065AA30 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065MM28 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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