光学素子の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004301269
Publication number (International publication number)：2005183931
Application date： Oct. 15, 2004
Publication date： Jul. 07, 2005
Summary：

【課題】加工歪みを少なくし、小型化を促進し、生産性を高め、微小ゴミの発生を防止し、スクライブ切断法を適用し得る積層構造の光学素子の製造方法を提供する。【解決手段】鏡面研磨された光学ウェハ1を複数の光学チップに分割してなる光学素子の製造方法において、前記光学ウェハ1の一主面にダイモンド刃先によって線状ひび5を設ける第1工程と、前記第1工程後に前記線状ひび5に沿って圧力を加えて前記複数の光学チップ1に分割する第3工程とを備えた構成とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

鏡面研磨された光学ウェハを複数の光学チップに分割してなる光学素子の製造方法において、前記光学ウェハの一主面にダイモンド刃先によって線状ひびを設ける第1工程と、前記第1工程後に前記線状ひびに沿って圧力を加えて前記複数の光学チップに分割する第3工程とを備えたことを特徴とする光学素子の製造方法。

IPC (2)：

H01L21/301 , G03B11/00

FI (2)：

H01L21/78 V , G03B11/00

F-Term (6)：

2H083AA16 , 2H083AA19 , 4G015FA04 , 4G015FB01 , 4G015FC08 , 4G015FC10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

水晶光学フィルタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-124898 Applicant：日本電波工業株式会社
ミラーの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-065623 Applicant：東洋通信機株式会社
特開昭63-091620

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Cited by examiner (4)

ミラーの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-065623 Applicant：東洋通信機株式会社
近赤外線カットフィルタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-220139 Applicant：東海光学株式会社
特開昭63-091620

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