マーク検査方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小池晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996192384
Publication number (International publication number)：1998040380
Application date： Jul. 22, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ICの種類が多くても、また新しいICが開発されたりしてもICパッケージ上のマークを容易かつ正確に認識し、検査時間を短縮する。【解決手段】 ICパッケージ14を撮影するビデオカメラ12と、ICパッケージ上のマーク位置及びマーク範囲をティーチングすると共に当該マーク位置及びマーク範囲に対応する位置及び範囲内のマークの画像パターンを基準マークパターンとしてティーチングし、これらマーク位置及びマーク範囲の情報と基準マークパターンの情報とを用いて検査対象のマークを検査する画像処理ユニット11と、マーク位置及びマーク範囲の情報と基準マークパターンの情報とを記憶する記憶装置18を有する。

Claim (excerpt)：

画像処理を使用してマーク検査を行うマーク検査方法において、マーク位置及びマーク範囲を教示する第1の教示工程と、少なくともマークとその周辺の画像を取り込む画像取り込み工程と、上記マーク位置及びマーク範囲に対応する位置及び範囲内のマークの画像パターンを基準マークパターンとして教示する第2の教示工程と、上記マーク位置及びマーク範囲と上記基準マークパターンとを用いて、検査対象のマークを検査する検査工程とを有することを特徴とするマーク検査方法。

IPC (4)：

G06T 7/00 , G01N 21/88 , H01L 23/00 , H05K 13/02

FI (5)：

G06F 15/62 405 A , G01N 21/88 E , H01L 23/00 A , H05K 13/02 D , G06F 15/70 455 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

画像処理装置におけるモデル画像データ登録装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-261340 Applicant：オムロン株式会社
ロゴマーク等のパターンの検査装置及び方法、並びにロゴマーク等のパターン辞書作成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-014307 Applicant：日立エンジニアリング株式会社
文字認識方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-133994 Applicant：株式会社日立製作所, 日立コンピュータエンジニアリング株式会社

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