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J-GLOBAL ID：200903075969915745

感光性組成物、感光性薄膜、及びパターン形成方法

Inventor： 関 隆広 ,  市村 國宏 ,  生方 俊
Applicant, Patent owner： 東京工業大学長
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000297382
Publication number (International publication number)：2002105339
Application date： Sep. 28, 2000
Publication date： Apr. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】現像工程を行うことなく光照射のみでパターンを形成すること及び高感度を実現することが可能な感光性材料及び感光性薄膜、並びにそのような感光性材料を用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】本発明は、アゾベンゼン骨格を有する高分子物質と液晶物質とを含有する感光性組成物及び感光性薄膜を提供する。また、本発明は、アゾベンゼン骨格を有する高分子物質と液晶物質とを含有する感光性組成物の薄膜を形成する工程と、この薄膜をパターン露光することにより上記感光性組成物の移動を生じさせる工程とを具備することを特徴とするパターン形成方法を提供する。

Claim (excerpt)：

アゾベンゼン骨格を有する高分子物質と液晶物質とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (5)：

C08L101/02 ,  C08K 5/00 ,  G03H 1/02 ,  G03H 1/04 ,  G03F 7/004 521

FI (5)：

C08L101/02 ,  C08K 5/00 ,  G03H 1/02 ,  G03H 1/04 ,  G03F 7/004 521

F-Term (20)：

2H025AB20 ,  2H025AC08 ,  2H025BH00 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  2H025FA01 ,  2K008AA04 ,  2K008BB01 ,  2K008BB08 ,  2K008DD12 ,  2K008EE01 ,  2K008EE04 ,  2K008FF13 ,  2K008HH01 ,  2K008HH18 ,  2K008HH25 ,  4J002BE011 ,  4J002BF011 ,  4J002ET006 ,  4J002GP03