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J-GLOBAL ID：200903075978430126

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 山本 充彦
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997153591
Publication number (International publication number)：1999002637
Application date： Jun. 11, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 測定モードにかかわらず最適な測定を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 複数の測定モードを有する測定型プローブ顕微鏡1おいて、複数の信号増幅特性を有する検出信号増幅部3と、検出処理増幅部3の増幅信号を入力する信号処理部4を備えた構成とし、検出信号増幅部3による信号増幅を、測定モードに応じた信号増幅特性で行い、これによって、測定モードにかかわらず最適な測定を行う。検出信号増幅部3において、測定モードに対応して比例増幅器31と対数増幅器33を切り換え部33で切り換えることによって、信号増幅特性の切り換えを行う。

Claim (excerpt)：

複数の測定モードを有する測定型プローブ顕微鏡において、複数の信号増幅特性を有する検出信号増幅部と、前記検出処理増幅部の増幅信号を入力する信号処理部を備え、前記検出信号増幅部は測定モードに応じた信号増幅特性で信号増幅することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 導電性カンチレバーを用いた走査型原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-045286   Applicant：日本電子株式会社
• 走査プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-270396   Applicant：日本電子株式会社