エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998141534
Publication number (International publication number)：1999335655
Application date： May. 22, 1998
Publication date： Dec. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物であって、シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供すること。【解決手段】本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体(A)と、中和剤(B)とからなることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体(A)と、中和剤(B)とからなることを特徴とするエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。

IPC (6)：

C09J201/02 , C09J 7/02 , C09J133/02 , C09J133/14 , H01L 21/301 , C08F 2/48

FI (6)：

C09J201/02 , C09J 7/02 Z , C09J133/02 , C09J133/14 , C08F 2/48 , H01L 21/78 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平1-251737
特開平2-187478
特開昭60-196956

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