高純度窒素ガス製造方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：澤木誠一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994027555
Publication number (International publication number)：1995218121
Application date： Feb. 01, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は断続運転可能な高純度窒素ガス製造方法及び装置を得るにある。【構成】精留塔として規則充填物式精留塔を用い、主熱交換器、精留塔、高純度窒素ガス凝縮器、高純度液体窒素貯槽及びこれらの連結管を単一断熱容器内に収納した高純度窒素ガス製造装置。高純度液体窒素貯槽からの高純度液体窒素ガスを気化する加圧サイクルとバックアップサイクルが付加されている高純度窒素ガス製造装置。二酸化炭素及び水分を除去し冷却した圧縮原料空気を、規則充填物式精留塔内で高純度液体窒素貯槽からの高純度液体窒素及びまたは高純度窒素凝縮器で液化された高純度液体窒素と気液接続せしめて製品高純度窒素ガスを精留分離する高純度窒素ガス製造方法。

Claim (excerpt)：

高純度液体窒素貯槽と、高純度窒素凝縮器と、規則充填物式精留塔と、主熱交換器と、これら及びこれら相互の連結導管とを収納する単一断熱容器と、上記高純度液体窒素貯槽から高純度液体窒素を上記規則充填物式精留塔上部に導入する手段と、外部より取り入れた圧縮原料空気から二酸化炭素及び水分を除去する手段と、この圧縮原料空気を上記主熱交換器で液化点近くまで冷却し上記規則充填物式精留塔下部に導入する手段とより成り、上記圧縮原料空気より製品高純度窒素ガスを精留分離することを特徴とする高純度窒素ガス製造装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭62-158975
規則充填材及び空気液化分離装置用精留塔
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-252534 Applicant：日本酸素株式会社
空気液化分離装置用精留塔
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-028550 Applicant：日本酸素株式会社

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