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J-GLOBAL ID：200903076503381178

ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材

Inventor：
津吉 淳弘

About 津吉 淳弘

, 
中山 正俊

About 中山 正俊


Applicant, Patent owner：
ティーディーケイ株式会社

About ティーディーケイ株式会社


Agent (1)： 石井 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998375444
Publication number (International publication number)：2000178736
Application date： Dec. 15, 1998
Publication date： Jun. 27, 2000
Summary：
【要約】【課題】 金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させてその寿命を向上させ、さらには、生産性も向上させる。【解決手段】 母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)の珪化物、周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)の珪化物、Tiの珪化物およびZrの珪化物のいずれか一種以上を含有する中間層を有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。または、母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)の珪炭化物、周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)の珪炭化物、Tiの珪炭化物およびZrの珪炭化物のいずれか一種以上を含有する中間層を有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。
Claim (excerpt)：
母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材とダイヤモンド状炭素膜との間に中間層を有し、中間層が、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)の珪化物、これらの珪炭化物、周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)の珪化物、これらの珪炭化物、Tiの珪化物、Tiの珪炭化物、Zrの珪化物およびZrの珪炭化物のいずれか一種以上を含有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。
IPC (3)：
C23C 16/27 ,  B22C 3/00 ,  C23C 14/06
FI (5)：
C23C 16/26 A ,  B22C 3/00 E ,  C23C 14/06 E ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/06 F
F-Term (46)：
4E092AA01 ,  4E092AA05 ,  4E092GA10 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA34 ,  4K029BA35 ,  4K029BA41 ,  4K029BA52 ,  4K029BB01 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029EA05 ,  4K029GA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA24 ,  4K030BA06 ,  4K030BA12 ,  4K030BA13 ,  4K030BA17 ,  4K030BA19 ,  4K030BA20 ,  4K030BA24 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BA35 ,  4K030BA48 ,  4K030BB05 ,  4K030BB11 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030CA03 ,  4K030FA01 ,  4K030HA01 ,  4K030HA04 ,  4K030JA06 ,  4K030LA01 ,  4K030LA21
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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