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J-GLOBAL ID:200903076515176987
研磨用複合粒子の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
吉村 俊一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007067601
Publication number (International publication number):2008222979
Application date: Mar. 15, 2007
Publication date: Sep. 25, 2008
Summary:
【課題】担体粒子表面に、砥粒が安定に保持されてなる研磨用複合粒子を効率良く製造することのできる研磨用複合粒子の製造方法を提供する。【解決手段】熱プラズマ(21)を形成してなるチャンバー(11)内に担体粒子と砥粒とを供給し、担体粒子の表面に1種以上の砥粒を担持させることを特徴とする研磨用複合粒子の製造方法により、上記課題を解決した。【選択図】図1
Claim (excerpt):
熱プラズマを形成してなるチャンバー内に担体粒子と砥粒とを供給し、融解された担体粒子の表面に1種以上の砥粒を担持させることを特徴とする研磨用複合粒子の製造方法。
IPC (2):
FI (5):
C09K3/14 550C
, B24B37/00 H
, B24B37/00 D
, C09K3/14 550D
, C09K3/14 550F
F-Term (6):
3C058AA07
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058CB04
, 3C058DA02
, 3C058DA11
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (4)