走査型電子顕微鏡装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三好祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995097802
Publication number (International publication number)：1996273578
Application date： Mar. 30, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【目的】光学顕微鏡を有する走査型電子顕微鏡装置に於いて、光学顕微鏡の試料室内での占有空間をなくし、試料室の内部空間を有効に利用できる様にすると共に、試料の厚みに変更があった場合にも容易に対応し得る。【構成】走査型電子顕微鏡3に設けられた試料室4の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差する光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡19を設け、光学顕微鏡を光軸に対して交差する方向に移動可能とし光学顕微鏡の光軸と走査型電子顕微鏡の光軸の交点が上下方向に移動する様にしたので、光学顕微鏡の試料室内での占有空間をなくし、試料室の内部空間を有効に利用できる様にすると共に、試料の上下位置に変更があった場合にも容易に対応し得る。

Claim (excerpt)：

走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。

IPC (3)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , H01J 37/244

FI (5)：

H01J 37/22 502 L , H01J 37/22 502 A , H01J 37/22 502 H , H01J 37/22 502 J , H01J 37/244

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平4-106853
特開平4-308639
特開昭62-005547

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