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J-GLOBAL ID：200903076649913848
離型フイルム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
前田 純博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995334953
Publication number (International publication number)：1997174763
Application date： Dec. 22, 1995
Publication date： Jul. 08, 1997
Summary：
【要約】【課題】 ポリエステルフイルムをベースフイルムとし、ポリエステルフイルム中の不純物が離型層表面へ移行するのを抑制した、シリコンウエハー製造の際のダイシング工程で使用する粘着剤の保護フイルム等に有用な離型フイルムを提供する。【解決手段】 ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られるポリエステルを主成分とするポリエステルフイルムの少なくとも片面に、シランカップリング剤を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上に残留接着率が95%以上であるシリコーン離型層を設けてなる離型フイルム。
Claim (excerpt)：
ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られるポリエステルを主成分とするポリエステルフイルムの少なくとも片面に、下記式(I)で示される化合物を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上に残留接着率が95%以上のシリコーン離型層を設けてなる離型フイルム。【化1】Y-Si-X3 ......式(I)[式(I)で、Xはアルコキシ基、Yはエポキシ基、アミノ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基またはアルコキシ基を有する反応性有機官能基を示す。]
IPC (4)：
B32B 27/00
, B32B 27/00 101
, B32B 27/36
, H01L 21/301
B32B 27/00 L
, B32B 27/00 101
, B32B 27/36
, H01L 21/78 M
Cited by examiner (8)
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