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J-GLOBAL ID：200903076684421710

感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置

Inventor： 楠木 淳也 ,  平野 孝
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004282905
Publication number (International publication number)：2006098568
Application date： Sep. 29, 2004
Publication date： Apr. 13, 2006
Summary：

【課題】 本発明は、現像が可能で、高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、低温硬化が可能で、かつ硬化後の皮膜特性として優れた機械特性、接着性、吸水性を有する高感度の感光性樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置、特にリード・オン・チップ(Lead On Chip)構造の半導体装置を提供することを目的とする。【解決手段】エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂(A)、光酸発生剤(B)、及び充填材(C)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂(A)、光酸発生剤(B)、及び充填材(C)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F7/038 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R

F-Term (15)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BD23 ,  2H025BE00 ,  2H025CC08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂組成物および該樹脂組成物を用いた絶縁材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-081947   Applicant：日本ゼオン株式会社, 富士通株式会社
• 特公昭61-21823号公報