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J-GLOBAL ID：200903076824078663

ミラー

Inventor： 松山 久好
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998276909
Publication number (International publication number)：1999194206
Application date： Sep. 30, 1998
Publication date： Jul. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】ミラーの熱膨張による影響を小さくおさえて反射率の高い、光学的に優れたミラーを提供する。ミラーを軽量化して、駆動系の振動等の影響も起きない、実用的に優れたミラーを提供する。【解決手段】表面における平均ボイド径が2μm以下で、表面粗さがRa0.015μm以下で290GPa以上のヤング率を有するセラミックスで基体を構成するとともに、該基体表面にアルミニウムまたは銀からなる平均膜厚0.5〜2μmの反射膜を形成してXYステージに固定するためのミラーを構成する。

Claim (excerpt)：

表面における平均ボイド径が2μm以下で、表面粗さがRa0.015μm以下で、290GPa以上のヤング率を有するセラミックスで基体を構成するとともに、該基体表面にアルミニウム、銀等の金属からなる平均膜厚0.5〜2μmの反射膜を形成したことを特徴とするXYステージ上に固定するためのミラー。

IPC (3)：

G02B 5/08 ,  C04B 41/88 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G02B 5/08 A ,  C04B 41/88 Z ,  H01L 21/30 520 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• レーザ反射鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-219650   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭62-257102