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J-GLOBAL ID：200903077101979073

薄膜形成装置及び薄膜形成方法

Inventor： 中 裕之 ,  三浦 真芳
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995048459
Publication number (International publication number)：1996250389
Application date： Mar. 08, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 塗布液の無駄な消費を抑えかつ基板に反りや凹凸があっても簡単な移動制御で塗布後の膜厚を可及的に均一にできるようにする。【構成】 インクジェットコータ1は、角型基板10上にレジスト液の薄膜を形成する装置であって、基板を保持する基板保持部12と、Y方向に並べて配置されたインクジェット方式の複数のインクジェットノズル20を有し、角型基板10に向けて複数のノズル20からレジスト液を噴出して角型基板10上にレジスト液を塗布するインクジェットヘッド13と、インクジェットヘッド13を基板保持部12に対してX方向に直線的に移動させるヘッド移動部14とを備え、レジスト液を間接的に定量噴出しながら角型基板10上をインクジェットヘッド13を直線的に移動させて均一膜厚のレジスト膜11を形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に塗布液の薄膜を形成する薄膜形成装置であって、前記基板を保持する基板保持手段と、第1方向に並べて配置されたインクジェット方式の複数のノズルを有し、前記基板に向けて前記複数のノズルから前記塗布液を噴出して前記基板上に前記塗布液を塗布する塗布液塗布手段と、前記塗布液塗布手段を前記基板保持手段に対して前記第1方向と交差する第2方向に直線的に相対移動させる相対移動手段と、を備えた薄膜形成装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/06 ,  G03F 7/16 501

FI (3)：

H01L 21/30 564 Z ,  B05C 11/06 ,  G03F 7/16 501

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 建築板の塗装方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-331042   Applicant：ニチハ株式会社, 大日本塗料株式会社, 紀州技研工業株式会社
• パターン画像形成装置及びその方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-114425   Applicant：株式会社リコー