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J-GLOBAL ID：200903077175183459

センサマトリックスを有するX線装置

Inventor： ブラウアーズ,アンドレアス ,  ケムナー,ルドルフ ,  シーベル,ウルリヒ ,  ヴィツォレク,ヘルフリート カルル
Applicant, Patent owner： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
Agent (1)： 伊東 忠彦 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998529371
Publication number (International publication number)：2000512084
Application date： Mar. 23, 1998
Publication date： Sep. 12, 2000
Summary：

【要約】X線検査装置は、X線画像から画像信号を得るためのセンサマトリックスを有するX線検出器からなる。X線検出器は、X線減衰区画の規則的なパターンを有する散乱格子を設けられる。センサマトリックスの空間解像度は、X線画像中の最も小さな検出可能な細部の大きさが隣接する区画間の距離よりも大きいようにされる。特に、X線検出器は、X線を電荷に変換するためのX線感応光伝導体層を有し、別個のセンサ素子は夫々の集電極を含み、半導体クラッド層は光伝導体層と集電極との間に配置される。半導体クラッド層は略横方向の導電性を有する。例えば、半導体クラッド層は、塩素でドープされたセレン層、或いはセレン、硫黄、又はテルル化物でドープされた酸化鉛層である。

Claim (excerpt)：

X線画像から画像信号を得るためのセンサマトリックスを有するX線検出器を含むX線検査装置であって、 該X線検出器はX線減衰区画の規則的なパターンを有する散乱格子を設けられ、 該センサマトリックスの空間解像度は、X線画像中の最も小さな検出可能な細部の寸法が隣接する区画間の距離よりも大きいようにされることを特徴とする、X線検査装置。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  G01T 1/20 ,  H01L 31/09

FI (4)：

H01L 27/14 K ,  G01T 1/20 E ,  G01T 1/20 D ,  H01L 31/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• X線診断装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-238322   Applicant：東芝メディカルエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
• X線画像検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-201719   Applicant：フィリップスエレクトロニクスエヌベー
• 特開平3-022325
  
• 特開昭55-159540
  
• X線検出器およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-148615   Applicant：ジーイー横河メディカルシステム株式会社
• 特開昭60-142300