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J-GLOBAL ID：200903077284507825

微小X線源

Inventor：
小橋 宏司

About 小橋 宏司

, 
谷口 一雄

About 谷口 一雄


Applicant, Patent owner：
株式会社神戸製鋼所

About 株式会社神戸製鋼所


Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001222348
Publication number (International publication number)：2003036805
Application date： Jul. 23, 2001
Publication date： Feb. 07, 2003
Summary：
【要約】【課題】 電流値が低くてもミクロンオーダーのビーム径の電子ビームを得ることができ、電流リークがなく、エミッタチップの発熱等による劣化を防止することができ、ビームの収束制御が容易である微小X線源を提供する。【解決手段】 真空封止管26内に、電子エミッタ21と、電子エミッタ21から放出された電子を引き出す電子引き出し用グリッド22と、電子エミッタ21から放出された電子ビーム25の引き出し、加速及び収束用の装置23と、電子ビーム25が照射されるターゲット24とが直線上に配置されている。また、電子エミッタ21には、加熱装置33が設けられている。加速及び収束用装置23とターゲット24との間には、電圧V2の直流電源28がターゲット24を負側として接続されている。また、ターゲット24と電子エミッタ21との間には、電圧V1の直流電源27がターゲット24側を正側として接続されている。
Claim (excerpt)：
炭素系材料からなる電子エミッタと、この電子エミッタを加熱してその温度を制御する加熱装置と、前記電子エミッタから発生する電子ビームを引き出し、加速し、収束する引き出し収束装置と、前記電子ビームが照射されてX線を発生するターゲットと、前記電子エミッタへ紫外線を照射する紫外線照射部と、前記電子エミッタ、前記加熱装置、前記引き出し収束装置及び前記ターゲットを収納して封止する封止管と、前記封止管の内部を清掃するクリーニング装置とを有することを特徴とする微小X線源。
IPC (4)：
H01J 35/06 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/02 ,  H01J 35/08
FI (4)：
H01J 35/06 B ,  G21K 1/00 E ,  G21K 5/02 X ,  H01J 35/08 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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